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表面測(cè)定儀
KOSAKA/小坂研究所
日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET4000A代理

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-11-19
廠商性質(zhì):代理商
訪 問(wèn) 量 :222
028-68749778
產(chǎn)品分類(lèi)
| 品牌 | KOSAKA/小坂研究所 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET4000A代理

日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET4000A代理是日本KOSAKA小坂研究所推出的一款高精度、多功能全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī),專(zhuān)為半導(dǎo)體、平板顯示、硬盤(pán)制造及精密加工等領(lǐng)域設(shè)計(jì),能夠滿足納米級(jí)表面形貌分析的嚴(yán)苛需求。
?核心性能參數(shù)方面?,ET4000A展現(xiàn)出的精度與穩(wěn)定性:
?測(cè)量范圍?:Z軸最大測(cè)定范圍達(dá)100μm,X軸移動(dòng)量100mm,支持最大工件尺寸210mm×210mm(可選配至300mm×400mm),適應(yīng)不同尺寸樣品需求。
?分辨率與重復(fù)性?:Z軸分辨率0.1nm,重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi),臺(tái)階重現(xiàn)性可達(dá)0.2nm以下,確保微小臺(tái)階的精確捕捉。
?測(cè)定力與觸針?:測(cè)定力范圍0.5μN(yùn)至500μN(yùn),觸針半徑0.5μm、2μm可選,適應(yīng)軟質(zhì)與硬質(zhì)材料表面測(cè)量。
?驅(qū)動(dòng)與定位?:采用直動(dòng)式驅(qū)動(dòng)方式,移動(dòng)真直度0.005μm/5mm,線性尺分解能0.01μm,位置定位再現(xiàn)性±5μm,保障長(zhǎng)距離測(cè)量的高精度。
?功能特點(diǎn)上?,ET4000A具備多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì):
?超高直線度保證?:確保量測(cè)圖形不受移動(dòng)軸影響,支持長(zhǎng)距離量測(cè)及表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力解析。
?*檢出器?:采用超低噪音直動(dòng)式LVDT傳感器,減少測(cè)量誤差。
?高分辨率定位?:配備高分辨率CCD,實(shí)時(shí)觀測(cè)測(cè)量過(guò)程,提升操作便捷性。
?中文化軟件?:支持60多種測(cè)量參數(shù),可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范,滿足多樣化分析需求。
?應(yīng)用領(lǐng)域廣泛?,ET4000A適用于半導(dǎo)體硅片表面形貌、臺(tái)階高度、薄膜厚度測(cè)量,平板顯示基板平整度、段差檢測(cè),硬盤(pán)盤(pán)片表面粗糙度、磁頭飛行高度分析,以及精密機(jī)械零部件的表面形狀、尺寸精度測(cè)量等,為工藝控制與研發(fā)分析提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
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