日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET4000A代理

日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET4000A代理是日本KOSAKA小坂研究所推出的一款高精度、多功能全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，專(zhuān)為半導(dǎo)體、平板顯示、硬盤(pán)制造及精密加工等領(lǐng)域設(shè)計(jì)，能夠滿足納米級(jí)表面形貌分析的嚴(yán)苛需求。

?核心性能參數(shù)方面?，ET4000A展現(xiàn)出的精度與穩(wěn)定性：

• ?測(cè)量范圍?：Z軸最大測(cè)定范圍達(dá)100μm，X軸移動(dòng)量100mm，支持最大工件尺寸210mm×210mm（可選配至300mm×400mm），適應(yīng)不同尺寸樣品需求。

• ?分辨率與重復(fù)性?：Z軸分辨率0.1nm，重現(xiàn)性1σ 0.5nm以內(nèi)，臺(tái)階重現(xiàn)性可達(dá)0.2nm以下，確保微小臺(tái)階的精確捕捉。

• ?測(cè)定力與觸針?：測(cè)定力范圍0.5μN(yùn)至500μN(yùn)，觸針半徑0.5μm、2μm可選，適應(yīng)軟質(zhì)與硬質(zhì)材料表面測(cè)量。

• ?驅(qū)動(dòng)與定位?：采用直動(dòng)式驅(qū)動(dòng)方式，移動(dòng)真直度0.005μm/5mm，線性尺分解能0.01μm，位置定位再現(xiàn)性±5μm，保障長(zhǎng)距離測(cè)量的高精度。

?功能特點(diǎn)上?，ET4000A具備多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)：

• ?超高直線度保證?：確保量測(cè)圖形不受移動(dòng)軸影響，支持長(zhǎng)距離量測(cè)及表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力解析。

• ?*檢出器?：采用超低噪音直動(dòng)式LVDT傳感器，減少測(cè)量誤差。

• ?高分辨率定位?：配備高分辨率CCD，實(shí)時(shí)觀測(cè)測(cè)量過(guò)程，提升操作便捷性。

• ?中文化軟件?：支持60多種測(cè)量參數(shù)，可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際規(guī)范，滿足多樣化分析需求。

?應(yīng)用領(lǐng)域廣泛?，ET4000A適用于半導(dǎo)體硅片表面形貌、臺(tái)階高度、薄膜厚度測(cè)量，平板顯示基板平整度、段差檢測(cè)，硬盤(pán)盤(pán)片表面粗糙度、磁頭飛行高度分析，以及精密機(jī)械零部件的表面形狀、尺寸精度測(cè)量等，為工藝控制與研發(fā)分析提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。