美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀

Tencor® P-7探針式輪廓儀是美國KLA科磊公司推出的一款高精度、多功能的表面形貌測量設(shè)備，專為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、LED、太陽能、MEMS、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及汽車電子等行業(yè)設(shè)計(jì)。該設(shè)備基于市場的Tencor P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)，繼承了其測量性能，同時(shí)提供了更高的性價(jià)比。

?核心功能?：

• ?多維度測量?：Tencor® P-7支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維（2D）和三維（3D）測量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需圖像拼接，滿足大尺寸樣品的測量需求。

• ?恒力控制技術(shù)?：探針作用力可在0.03至50毫克范圍內(nèi)動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)，確保測量穩(wěn)定性，尤其適用于光刻膠等軟性材料的精確測量。

• ?高分辨率成像?：配備500萬像素高分辨率彩色相機(jī)，提供清晰的在線影像觀察，支持頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)，便于樣品對(duì)準(zhǔn)和缺陷定位。

• ?智能軟件分析?：Apex分析軟件支持ISO粗糙度計(jì)算方法，提供調(diào)平、濾鏡、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析等擴(kuò)展功能，并支持多語言界面，便于用戶操作和數(shù)據(jù)報(bào)告編寫。

?技術(shù)優(yōu)勢(shì)?：

• ?高重復(fù)性測量?：UltraLite®傳感器具有動(dòng)態(tài)力控制、良好線性度和精準(zhǔn)垂直分辨率，確保測量結(jié)果的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

• ?自動(dòng)化生產(chǎn)能力?：通過測序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量，減少操作員誤操作，提高測量效率。

• ?廣泛適用性?：支持多種探針和載臺(tái)選項(xiàng)，適應(yīng)不同樣品尺寸和測量需求，包括太陽能板樣品和200毫米通用載臺(tái)。

?應(yīng)用領(lǐng)域?：
Tencor® P-7廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化合物半導(dǎo)體、LED、太陽能、MEMS、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及汽車電子等行業(yè)，為工藝研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持，助力提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。