德國Bruker/布魯克 觸針式輪廓儀Dektak Pro

德國Bruker/布魯克 觸針式輪廓儀Dektak Pro

德國布魯克（Bruker）推出的觸針式輪廓儀Dektak Pro，是第十一代Dektak®系統的代表產品，專為納米級表面形貌測量設計，廣泛應用于微電子、半導體、太陽能、LED、觸摸屏、醫療及材料科學等領域。該儀器以其高精度、高重復性和易用性，成為表面輪廓測量的行業選擇。

Dektak Pro的核心優勢在于其測量性能。其臺階高度重復性優于4埃（?），在1微米臺階高度標準上實現這一精度，確保數據可靠性。垂直分辨率可達1埃（@6.55微米范圍），覆蓋1納米至1毫米的臺階高度測量范圍，滿足從納米到毫米級的形貌分析需求。儀器采用單拱形龍門式設計，有效降低環境振動和噪聲干擾，提升掃描穩定性；直驅掃描平臺技術縮短測量時間，同時保持高分辨率和低噪聲，加速3D形貌或長輪廓掃描的數據獲取。

在硬件配置上，Dektak Pro提供多種探針選項，針尖半徑從50納米到25微米可選，并支持高徑比（HAR）針尖（如200微米×20微米），適應深溝渠測量。探針壓力范圍靈活，標準模式下為1至15毫克，N-Lite+低力模式下可低至0.03毫克，減少對脆弱樣品的損傷。樣品臺支持手動或電動XY載物臺，最大可容納200毫米（8英寸）晶圓，并配備編碼器實現高精度自動數據收集。

軟件方面，Dektak Pro搭載Vision64® 64位并行處理軟件，支持快速數據處理和自動化分析。其智能算法簡化臺階高度計算，減少用戶操作誤差，提升數據一致性。軟件還提供3D形貌建模、多區域分析、濾波器加速等功能，并支持序列編程和圖形識別定位，提升測試效率。

此外，Dektak Pro注重用戶體驗，采用自對準探頭夾具設計，探針更換耗時不到一分鐘，且無需重新校準。雙攝像頭系統增強空間感知能力，實時視頻輔助定位，簡化測量設置。該儀器已在全球數百個生產、研究和故障分析中心廣泛應用，成為精密計量領域的重要工具。