功能

• 根據使用條件，可能使用風冷運行。在200帕下連續運行。達到200帕的泵送時間需在10分鐘內。

• 可以選擇多種電壓電機（200V 級或多種電壓）兼容通用電機，并且可選配備防爆電機。兼容高效調節（IE2/GB3/EPAct）。

• 的耐腐蝕表面處理（可選：T型） 高表面硬度和的耐腐蝕性。所有主要部件的表面都經過陽極氧化涂層處理，以提供的耐腐蝕性和表面剛性。這可以抑制泵內部的刮擦和腐蝕。

• 大氣壓力啟動類型有效于縮短抽水時間（選項：變頻器）因為泵可以與粗泵同時啟動，與標準類型相比，抽水時間可以更短。

• 國際標準適用于西方市場（符合CE和cTUVus）

應用程序

• 蒸發、濺射、離子鍍膜

• 真空干燥，冷凍干燥，真空脫氣，分析儀器，泄漏測試系統

• 氣體交換，充氣，真空絕熱，熱處理，熔爐

• 其他各種真空系統

規格

注意）本規格使用國際單位制（SI）的測量單位。轉換為非SI單位如下：
　　4.0 x 10^-1Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　標準型號為無表面處理（陽極氧化涂層）。
　　可選地，帶有表面處理的型號可以進行選擇。
*2　使用標準背壓泵和標準真空油由Pirani真空計測量。
　　（使用McLeod真空計測量時約為4.0×10^-2 Pa）
*3　僅PMB100D可以選配200V類電機或多種電壓。
　　防爆電機不提供多種電壓選擇。
*4　空氣冷卻規格的機油是SMR-200。機油選項：可選，礦物油（SMR-200），
　　氟油（J25F）類型可以進行選擇。
*5　通過選擇變頻安裝型號，將能夠操作整個壓力范圍。
　　訂購變頻規格時，指定空氣冷卻或水冷卻規格。
　　空氣冷卻無法使用水冷卻變頻器驅動。
　　對于PMB600D、1200D和2400D，在壓力范圍為
　　300 Pa至4,000 Pa的連續操作超過1小時可能會損壞泵。
　　在這種情況下，選擇水冷卻類型。
*6　在無冷凝的環境中使用。
*7 對于其他尺寸，請訪問ULVAC網站并參考發布的CAD數據。

泵速曲線

尺寸圖