CRYO-U4H是日本ULVAC（愛發(fā)科）推出的一款高真空低溫泵，隸屬于CRYO-U系列，依托品牌70余年真空技術(shù)積淀，專為半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)及科研等領(lǐng)域的高真空需求場景設(shè)計。該產(chǎn)品采用兩級GM制冷機(jī)技術(shù)，可穩(wěn)定實現(xiàn)高真空至超高真空環(huán)境，為精密制造與前沿研究提供可靠的真空保障。

二、核心性能優(yōu)勢

1. 抽氣效率：作為4英寸規(guī)格低溫泵，CRYO-U4H具備強(qiáng)勁抽速表現(xiàn)，20℃環(huán)境下氮抽速可達(dá)450升/秒，氫抽速500升/秒，水抽速更是高達(dá)1100升/秒，能快速建立并維持真空環(huán)境，顯著提升生產(chǎn)與實驗效率。極限壓力可達(dá)10^-7帕，滿足超高真空應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。

2. 智能集群控制：支持單壓縮機(jī)驅(qū)動多臺泵體運行，最多可串聯(lián)4臺CRYO-U4H，大幅降低設(shè)備投入與運維成本，尤其適合多工位生產(chǎn)線集中管控。

3. 定制化適配：可根據(jù)客戶應(yīng)用場景進(jìn)行針對性設(shè)計調(diào)整，如優(yōu)化冷卻路徑、適配特殊接口等，靈活匹配半導(dǎo)體濺射工藝、小型精密儀器研發(fā)等多樣化需求。

三、技術(shù)與結(jié)構(gòu)特點

產(chǎn)品采用閉式循環(huán)氦制冷系統(tǒng)，無需頻繁補(bǔ)充冷卻液，實現(xiàn)長期穩(wěn)定運行。制冷機(jī)分為兩級：一級制冷能力強(qiáng)勁，可將溫度降至80K以下，為二級制冷提供熱屏蔽；二級制冷雖功率較小，但能將冷頭溫度降至10-12K，通過15K低溫面板實現(xiàn)氣體冷凝與吸附。80K級屏蔽層有效減少熱輻射干擾，保障低溫面板制冷效率。整機(jī)重量僅14.5公斤，緊湊設(shè)計節(jié)省安裝空間，同時具備低震動、低噪音特性，適配精密環(huán)境要求。

四、品牌與服務(wù)保障

ULVAC作為全球真空技術(shù)企業(yè)，在蘇州、上海、成都等地設(shè)立生產(chǎn)與服務(wù)基地，為中國客戶提供本地化技術(shù)支持與售后保障。CRYO-U4H憑借穩(wěn)定性能與品牌口碑，成為半導(dǎo)體芯片制造、光學(xué)元件鍍膜等領(lǐng)域的核心真空設(shè)備之一

功能

• 4英寸低溫泵的出色抽氣性能

• 高泵速提高了泵送效率和生產(chǎn)力。

• 理想用于半導(dǎo)體制造的濺射過程，或其它小型設(shè)備

• 一個壓縮機(jī)可以驅(qū)動多達(dá)四個裝置。

• 定制設(shè)計可以滿足您的需求。

規(guī)格

尺寸（單位：毫米）