日本ULVAC愛(ài)發(fā)科高真空泵低溫泵C10

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科高真空泵低溫泵C10是一款基于低溫冷凝與吸附原理的高性能真空設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、真空釬焊、科研實(shí)驗(yàn)等對(duì)潔凈度和真空度要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域。其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

一、無(wú)油清潔設(shè)計(jì)，極限真空度高?

C10低溫泵采用閉循環(huán)氦氣制冷系統(tǒng)，無(wú)需油類(lèi)介質(zhì)，避免了油蒸氣污染真空腔體的問(wèn)題，特別適合對(duì)潔凈度敏感的工藝環(huán)境。通過(guò)兩級(jí)冷頭設(shè)計(jì)，第一級(jí)冷頭溫度維持在50-80K，可高效冷凝水蒸氣、二氧化碳等氣體；第二級(jí)冷頭溫度降至10-20K，進(jìn)一步捕獲氮?dú)?、氧氣等氣體；而極低溫區(qū)域（2-4K）則用于吸附氫氣、氦氣等難冷凝氣體。這種分級(jí)冷凝機(jī)制使其極限真空度可達(dá)10??至10?11Pa，滿足超高真空需求。

二、結(jié)構(gòu)緊湊，運(yùn)行穩(wěn)定?

C10低溫泵采用模塊化設(shè)計(jì)，體積小巧、重量輕（約75-77kg），便于集成到各類(lèi)真空系統(tǒng)中。其閉循環(huán)制冷系統(tǒng)無(wú)需外部冷卻水供應(yīng)（部分型號(hào)支持風(fēng)冷），簡(jiǎn)化了安裝流程。同時(shí)，低溫泵運(yùn)行振動(dòng)極小，對(duì)精密儀器（如電子顯微鏡、半導(dǎo)體光刻機(jī)）的干擾可忽略不計(jì)，確保工藝穩(wěn)定性。

三、高效抽氣與選擇性控制?

C10低溫泵對(duì)不同氣體具有差異化抽速：對(duì)水蒸氣等易冷凝氣體抽速極快，可顯著縮短真空腔體排氣時(shí)間；對(duì)惰性氣體（如氬氣）則通過(guò)低溫吸附實(shí)現(xiàn)高效捕獲。此外，通過(guò)調(diào)節(jié)冷頭溫度，可針對(duì)性優(yōu)化對(duì)特定氣體的抽氣效率，滿足復(fù)雜工藝需求。

四、可再生性與低維護(hù)成本?

當(dāng)吸附材料飽和后，C10低溫泵可通過(guò)加熱再生循環(huán)恢復(fù)抽氣能力，延長(zhǎng)使用壽命。其核心部件（如冷頭、壓縮機(jī)）設(shè)計(jì)壽命長(zhǎng)達(dá)24,000小時(shí)，且支持模塊化更換，降低長(zhǎng)期維護(hù)成本。部分型號(hào)（如C10AT）采用風(fēng)冷設(shè)計(jì)，進(jìn)一步簡(jiǎn)化了維護(hù)流程。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景?

半導(dǎo)體制造?：用于光刻、蝕刻、沉積等工藝的真空環(huán)境構(gòu)建。

光學(xué)鍍膜?：在真空鍍膜機(jī)中提供無(wú)油、高潔凈度的真空條件。

科研實(shí)驗(yàn)?：支持高能物理、材料科學(xué)等領(lǐng)域的超高真空實(shí)驗(yàn)需求。

工業(yè)加工?：適用于真空釬焊、真空熱處理等高溫工藝的排氣系統(tǒng)。

六、技術(shù)參數(shù)（以C10T為例）?

電源?：190-230V，50/60Hz，三相

功率?：1.5kW（50Hz）/1.7kW（60Hz）

冷卻方式?：水冷或風(fēng)冷（依型號(hào)而定）

重量?：75-77kg

極限壓力?：10?11 Pa（需配合前級(jí)泵使用）

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科C10低溫泵憑借其無(wú)油清潔、極限真空度高、運(yùn)行穩(wěn)定等特性，成為高精度真空系統(tǒng)的理想選擇，為半導(dǎo)體、科研、工業(yè)等領(lǐng)域提供了可靠的真空解決方案。

此產(chǎn)品是操作低溫泵所必需的。壓縮氦氣被送入冰箱，從冰箱返回的高溫氦氣被冷卻并循環(huán)。