日本ULVAC愛(ài)發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051是ULVAC最新的殘余氣體分析和過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)型號(hào)。新產(chǎn)品設(shè)計(jì)融合了來(lái)自不同生產(chǎn)線的設(shè)施工程師的反饋，提供的簡(jiǎn)便性。即使在高壓力（1Pa或更低）下，Qulee也能提供高精度和高分辨率功能

Name: 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051
Brand: ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
Availability: InStock

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2026-04-08

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn) 量：235

服務(wù)熱線

028-68749778

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

生產(chǎn)工具耗材

ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 YAMADA/日本雅瑪達(dá) TSUBAKI/椿本 NITTO/日東工器 Yaskawa/日本安川日本tsubosan壺三日本PISCO匹士克日本TECHNO特古羅日本THREEBOND三鍵美國(guó)SIMCO思美高日本YAMADA雅瑪達(dá) 日本FLUORO福樂(lè)

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產(chǎn)品介紹

品牌	ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科	輸送介質(zhì)	其他
泵軸位置	臥式	葉輪數(shù)目	其他
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051

功能

適用于各種濺射系統(tǒng)的理想過(guò)程監(jiān)測(cè)
監(jiān)測(cè)空氣泄漏
殘余水分管理
不需要差動(dòng)泵系統(tǒng)（7.5 x 10^-3 托/1 x 10^-2 毫巴時(shí)小于1帕）
內(nèi)置顯示器：無(wú)需電腦
高靈敏度泄漏測(cè)試可能 (CGM2-052)。更多泄漏測(cè)試。
提供多種泄漏測(cè)試（氦氣泄漏測(cè)試、空氣泄漏測(cè)試、組件測(cè)試）
總壓力測(cè)量（離子ization gauge）可能
包括快速安裝包系統(tǒng) (QIP)。自動(dòng)測(cè)量包（詳見(jiàn)選項(xiàng)目錄）。
Qulee QCS 包含在內(nèi)：此軟件包含在內(nèi)且兼容 (Windows 8/10/11)
符合CE標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用程序

光伏、平板顯示器和半導(dǎo)體系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
PVD系統(tǒng)中的殘余氣體分析
在PVD系統(tǒng)中控制雜質(zhì)（H₂O等）
用于泄漏測(cè)試

規(guī)格

模型	CGM2-051	CGM2-052	CGM2-101	CGM2-102
質(zhì)量過(guò)濾器類型	四極矩
質(zhì)量范圍	1到50道爾頓		1到100 AMU
分辨率	M/ΔM=1M (10% P.H.)
探測(cè)器類型	法拉第杯 (FC)	電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC)	法拉第杯 (FC)	電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC)
敏感度	0.1微安/帕	SEM：0.1毫安/帕	0.1微安/帕	SEM：0.1毫安/帕
	13.3 微安/托	SEM：13.3 毫安/托	13.3 微安/托	SEM：13.3 毫安/托
	10 微安/毫巴	SEM：10 毫安/毫巴	10 微安/毫巴	SEM：10 毫安/毫巴
可檢測(cè) 部分壓力	1×10^-7 帕	標(biāo)準(zhǔn)誤差均值: 1×10^-10帕	1×10^-7 帕	標(biāo)準(zhǔn)誤差均值: 1×10^-10帕
	7.5×10^-10托	標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：7.5×10^-13托	7.5×10^-10托	標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：7.5×10^-13托
	1×10^-9 毫巴	標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：1×10^-12 毫巴	1×10^-9 毫巴	標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：1×10^-12 毫巴
最大工作壓力	FC：2帕	FC: 2帕, SEM: 1×10^-2帕	FC：2帕	FC: 2 Pa, SEM: 1×10^-2Pa
	FC: 1.5×10^-2托	FC: 1.5×10^-2 SEM: 7.5×10^-5 毫托	FC: 1.5×10^-2托	FC: 1.5×10^-2 SEM: 7.5×10^-5 毫托
	FC: 2×10^-2 毫巴	FC: 2×10^-2 SEM: 1×10^-4毫巴	FC: 2×10^-2 毫巴	FC: 2×10^-2 SEM: 1×10^-4毫巴
線性度	1帕
	7.5×10^-3 毫托
	1×10^-2 毫巴
總壓力函數(shù)	有能力的
德加函數(shù)	電子束類型 300V, 5mA
一鍵功能	能夠 / 他 / H₂氧 / N₂/ 氧₂/ 任何氣體
一鍵泄漏測(cè)試功能	有能力的
輸入功率	DC24V ±10% 50W
最大傳感器工作溫度	120℃ (248℉)
最大傳感器工作溫度	250℃ (482℉)
工作溫度范圍	10到40℃（50到104華氏度）
工作濕度范圍	15%到80%（不冷凝）
通信接口	以太網(wǎng)
軟件	Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11)
適用標(biāo)準(zhǔn)	歐洲共同市場(chǎng)