日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3300M-B

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3300M-B

TGkine3300M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計。

該泵集成了電源控制器與分子泵的一體化設計，省去了輸出電纜和控制器機架，顯著減少了設備的占地面積，簡化了系統結構，提高了整體可靠性。磁懸浮軸承技術的應用，實現了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。

TGkine3300M-B具有出色的排氣性能，其排氣速度在N?（氮氣）下可達3300 L/s，在H?（氫氣）下為2700 L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過1×10?，H?的最大壓縮比為3×103，可形成穩定的超高真空環境。其極限壓力低于2×10?? Pa，進一步確保了真空系統的純凈度。

在節能方面，TGkine3300M-B采用了省電設計，有效降低了能耗，為企業節省了運營成本。此外，該泵還具備輕巧設計，便于搬運和安裝，適應各種空間受限的工作環境。其防護等級達到IP54，能夠有效抵御灰塵和水的侵入，確保在惡劣環境下的穩定運行。

TGkine3300M-B還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標準，確保了產品在全球范圍內的通用性和安全性。