日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B

TGkine3800M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款頂級超大型磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計。

該泵采用優良的5軸主動磁懸浮軸承技術，實現了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環境。

TGkine3800M-B具有業界頂級的超大抽速，氮氣標稱抽速高達3800 L/s，加裝防護網后有效抽速仍可達約3496 L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，氮氣最大壓縮比超過2×10?，氫氣最大壓縮比為2×103，可形成穩定的超高真空環境，極限壓力低于5×10?? Pa。

在節能方面，TGkine3800M-B采用了省電設計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業節省運營成本。此外，該泵還具備快速啟動和停止的特點，啟動時間不超過12分鐘，停止時間不超過14分鐘，提高了生產效率。

TGkine3800M-B還集成了電源控制器與分子泵的一體化設計，省去了輸出電纜和控制器機架，顯著減少了設備的占地面積，簡化了系統結構，提高了整體可靠性。同時，該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。