日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG907M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG907M

TG907M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計。

該泵采用優良的磁懸浮軸承技術，實現了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環境。

TG907M具有出色的排氣性能，其抽速可達900L/s以上（具體數值可能因型號和配置略有差異），能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，可形成穩定的超高真空環境，極限壓力低，確保了真空系統的純凈度。

在節能方面，TG907M采用了省電設計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業節省運營成本。此外，該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。

TG907M還具備數據存儲功能，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中。即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據，方便用戶進行設備管理和維護。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標準，確保了產品在全球范圍內的通用性和安全性。

TG907M還具備低振動、無需調整、自動校準、可控制轉子旋轉速度等優點，為用戶提供了更加便捷、穩定的使用體驗。其應用領域廣泛，包括半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、表面改性、制造各種電子元件、分析和測試設備、管材制造、光學元件制造等。