日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP501

日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP501

日本OSAKA大阪真空的DSP501是一款小型螺桿干式真空泵，專為需要無油、潔凈真空環(huán)境的精密應(yīng)用設(shè)計(jì)。該泵采用優(yōu)良的螺桿轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，通過機(jī)械壓縮實(shí)現(xiàn)氣體排出，避免了油蒸氣或顆粒逆流至真空腔室，確保了排氣的潔凈度，滿足ISO 1級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，尤其適用于半導(dǎo)體制造、光刻、分析儀器、醫(yī)療設(shè)備及加速器等對(duì)污染敏感的場景。

DSP501具備的性能參數(shù)：無氣鎮(zhèn)模式下排氣速度達(dá)500 L/min，極限壓力低至0.5 Pa；開啟氣鎮(zhèn)功能后，仍能保持430 L/min的排氣速度，極限壓力為2 Pa，有效防止水蒸氣凝結(jié)，適應(yīng)含濕氣工藝。其內(nèi)置旁通系統(tǒng)使大氣壓附近的排氣速度顯著提升，大幅縮短抽氣時(shí)間。泵體采用風(fēng)冷設(shè)計(jì)，僅需電力供應(yīng)，無需冷卻水，簡化了安裝與維護(hù)流程。

在設(shè)計(jì)與維護(hù)方面，DSP501優(yōu)勢(shì)顯著。轉(zhuǎn)子組件省略同步齒輪，配合隔音罩設(shè)計(jì)，運(yùn)行噪音低于65分貝，同時(shí)螺桿型轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)有效抑制排氣脈沖，確保低震動(dòng)運(yùn)行。該泵免維護(hù)特性突出，無需更換潤滑油或軸封，維護(hù)成本僅為傳統(tǒng)油泵的1/3，且終身免更換真空泵油，降低了長期運(yùn)行成本。此外，DSP501符合CE、SEMI、NRTL等國際標(biāo)準(zhǔn)，支持PLC控制系統(tǒng)集成，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障診斷，具備數(shù)據(jù)記錄和分析功能，提升了使用的靈活性與智能化水平。

DSP501憑借其便攜性、潔凈排氣、高效節(jié)能及低維護(hù)成本等優(yōu)勢(shì)，成為精密真空應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇，廣泛應(yīng)用于PVD設(shè)備排氣、分子泵前級(jí)泵及工業(yè)場景中的吸附搬送、封裝排氣等，為高要求工藝提供了可靠保障。