日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG450F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG450F

日本OSAKA大阪真空株式會社推出的TG450F滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款集高效抽氣、輕巧設(shè)計、節(jié)能環(huán)保與高抗沖擊性于一體的真空設(shè)備，專為高真空環(huán)境需求設(shè)計。

TG450F采用油脂潤滑滾珠軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕（VG/ISO-R法蘭型僅7kg，CF法蘭型10kg），顯著降低了設(shè)備整體負擔(dān)。其核心優(yōu)勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設(shè)備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。

在性能方面，TG450F具備高效的抽氣能力，排氣速度達450L/s（N?），附加金屬保護網(wǎng)時為430L/s，H?排氣速度為240L/s。最大壓縮比N?為1×10?，H?為2×103，極限壓力低于1×10?? Pa，滿足超高真空需求。其啟動時間僅需2-2.5分鐘，停止時間5-6.5分鐘，支持快速工藝切換，提升生產(chǎn)效率。同時，該泵兼容多種氣體排放，包括惰性氣體，但排放腐蝕性氣體時需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號。

TG450F還注重節(jié)能與環(huán)保，支持風(fēng)冷與水冷兩種模式，空冷環(huán)境下允許溫度范圍10-32℃，水冷環(huán)境下擴展至10-40℃，適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸，便于系統(tǒng)集成與管理。

TG450F廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子槍排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設(shè)備、光學(xué)部件制造及核聚變研究等領(lǐng)域，其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計，使其成為實驗室、生產(chǎn)線及移動設(shè)備的理想選擇。