日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1003

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1003

日本OSAKA大阪真空株式會(huì)社推出的TG1003滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款高效、耐用且設(shè)計(jì)緊湊的真空設(shè)備，專為高真空環(huán)境設(shè)計(jì)。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)輕巧，重量輕，便于安裝和移動(dòng)。其核心優(yōu)勢(shì)在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動(dòng)設(shè)備或運(yùn)動(dòng)部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運(yùn)行時(shí)也可移動(dòng)，甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。

TG1003具備出色的抽氣能力，抽速可達(dá)到1000L/s（N?），附加金屬保護(hù)網(wǎng)時(shí)為950L/s，H?排氣速度為750L/s。最大壓縮比N?為1×10?，H?為1.5×10?，極限壓力低于1×10?? Pa（VG/ISO-B法蘭）或1×10?? Pa（CF法蘭），滿足超高真空需求。其啟動(dòng)時(shí)間僅需數(shù)分鐘，停機(jī)時(shí)間也相對(duì)較短，支持快速工藝切換，提升生產(chǎn)效率。

該泵還注重節(jié)能與環(huán)保，支持風(fēng)冷模式，允許環(huán)境溫度范圍10-32℃，適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外，TG1003符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標(biāo)準(zhǔn)，集成RS232C串行通信接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸，便于系統(tǒng)集成與管理。

TG1003廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測(cè)設(shè)備、管材制造、光學(xué)元件制造、加速器、輻射設(shè)施及核聚變研究等領(lǐng)域。其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計(jì)，使其成為實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線及移動(dòng)設(shè)備的理想選擇。