日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TS50

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TS50

TS50是日本OSAKA大阪真空株式會社推出的一款高效、緊湊且耐用的滾珠軸承型渦輪分子泵，專為高真空環(huán)境設(shè)計(jì)。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕（僅11kg），便于安裝和移動。其核心優(yōu)勢在于的抗沖擊性能，可承受超過300,000次大氣沖擊，適用于安裝在移動設(shè)備或運(yùn)動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運(yùn)行時(shí)也可移動，甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。

TS50具備出色的抽氣能力，進(jìn)氣法蘭有VG100、CF100、ISO-R100系列可選，抽速N?為25L/s，帶保護(hù)網(wǎng)時(shí)為23L/s，H?抽速為13L/s。最大壓縮比N?為2×10?，H?為50，極限壓力低于7.5×10?? Torr（或1×10?? Pa），滿足高真空需求。其啟動時(shí)間僅需2.5-3.5分鐘，停機(jī)時(shí)間2.5-5分鐘，支持快速工藝切換，提升生產(chǎn)效率。

該泵還注重節(jié)能與環(huán)保，支持風(fēng)冷模式，允許環(huán)境溫度范圍10-32℃，適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外，TS50符合NRTL/SEMI-S2安全標(biāo)準(zhǔn)，集成RS232C通信接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸，便于系統(tǒng)集成與管理。

TS50廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設(shè)備、管材制造、光學(xué)元件制造、加速器、輻射設(shè)施及核聚變研究等領(lǐng)域。其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計(jì)，使其成為實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線及移動設(shè)備的理想選擇。同時(shí)，該泵還提供耐腐蝕氣體型分子泵，滿足特殊工藝需求。