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日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP501是一款集便攜性、高效能與潔凈排氣于一體的優(yōu)良真空設(shè)備。該泵專為需要無油真空環(huán)境的精密應(yīng)用設(shè)計,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光刻、分析儀器、醫(yī)療設(shè)備、加速器及離子源等領(lǐng)域。
日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP251是一款集便攜性、高效能與潔凈排氣于一體的優(yōu)良真空設(shè)備。該泵專為需要無油真空環(huán)境的精密應(yīng)用設(shè)計,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光刻、分析儀器、醫(yī)療設(shè)備、加速器及離子源等領(lǐng)域。
日本OSAKA大阪渦輪分子泵TG-MI系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反應(yīng)生成物對應(yīng)型磁懸浮渦輪分子泵,專為半導(dǎo)體、FPD(平板顯示器)、MEMS制造等蝕刻設(shè)備以及易生成反應(yīng)生成物并在高溫下易揮發(fā)的設(shè)備設(shè)計。
日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-R系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反應(yīng)生成物對應(yīng)型磁懸浮渦輪分子泵,專為半導(dǎo)體、FPD(平板顯示器)、MEMS制造等蝕刻設(shè)備以及易生成反應(yīng)生成物并在高溫下易揮發(fā)的設(shè)備設(shè)計。
日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-B系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反應(yīng)生成物對應(yīng)型磁懸浮渦輪分子泵,專為半導(dǎo)體、FPD(平板顯示器)、MEMS制造等蝕刻設(shè)備以及易生成反應(yīng)生成物并在高溫下易揮發(fā)的設(shè)備設(shè)計。
日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG1307M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵,專為半導(dǎo)體制造、FPD(平板顯示器)制造、太陽能電池制造以及光學(xué)元件加工等對真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域設(shè)計,憑借無油潔凈、高效穩(wěn)定的特性,成為真空應(yīng)用場景的核心設(shè)備之一。
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