產(chǎn)品分類
日本OTSUKA大塚西南代理分光干涉式厚度計(jì)對(duì)晶圓等的研磨拋光過(guò)程進(jìn)行非接觸式超高速實(shí)時(shí)高精度測(cè)量。
日本OTSUKA大塚西南代理分光橢偏儀FE-5000除了能夠進(jìn)行高精度薄膜解析的分光橢偏測(cè)量,通過(guò)實(shí)現(xiàn)測(cè)量角度的自動(dòng)可變機(jī)構(gòu),本設(shè)備可以應(yīng)對(duì)各種類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)檢測(cè)光子法,通過(guò)設(shè)置位相差板的自動(dòng)裝卸機(jī)構(gòu),提高了測(cè)量精度。
日本OTSUKA大塚西南代理線掃描膜厚儀晶圓用半導(dǎo)體的研究開(kāi)發(fā)以及生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)中,能夠在晶圓基板上的薄膜進(jìn)行全表面測(cè)量的裝置。 通過(guò)結(jié)合獨(dú)自的分光干涉法和新開(kāi)發(fā)的高精度膜厚演算處理技術(shù),可以高速測(cè)量12英寸晶圓的面內(nèi)分布。
日本OTSUKA大塚西南代理線掃描膜厚計(jì)在線型是一款能夠在在線生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)對(duì)薄膜厚度進(jìn)行全幅、全長(zhǎng)度測(cè)量的裝置。 通過(guò)結(jié)合我們獨(dú)自的分光干涉法和新開(kāi)發(fā)的高精度膜厚計(jì)算處理技術(shù),能夠在最短0.001秒的測(cè)量間隔內(nèi)對(duì)500mm寬度(單臺(tái)使用時(shí))的薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。
日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測(cè)定用MCPD6800是依托其標(biāo)志性“瞬間多通道測(cè)光”技術(shù)打造的高性能光譜干涉式膜厚檢測(cè)系統(tǒng),專為半導(dǎo)體、顯示面板、功能薄膜等行業(yè)的高精度膜厚質(zhì)控場(chǎng)景設(shè)計(jì),是兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與工業(yè)在線監(jiān)測(cè)的通用型膜厚檢測(cè)產(chǎn)品。
日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測(cè)定用MCPD9800是依托其標(biāo)志性“瞬間多通道測(cè)光”技術(shù)打造的高性能光譜干涉式膜厚檢測(cè)系統(tǒng),專為半導(dǎo)體、顯示面板、功能薄膜等行業(yè)的高精度膜厚質(zhì)控場(chǎng)景設(shè)計(jì),是兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與工業(yè)在線監(jiān)測(cè)的通用型膜厚檢測(cè)產(chǎn)品。
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