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日本OTSUKA大塚西南代理分光特性測量LCF彩色濾光片的光學特性檢查和玻璃基板上的膜厚檢查等,適用于FPD生產過程中的所有檢查。
日本OTSUKA大塚西南代理散射光度計DLS-6500 使用動態光散射法可以測量粒徑和粒徑分布(粒徑、粒徑分布),使用靜態光散射法可以測量絕對分子量、慣性半徑和第二維里系數。
日本OTSUKA大塚西南代理散射光度計DLS-8000 使用動態光散射法可以測量粒徑和粒徑分布(粒徑、粒徑分布),使用靜態光散射法可以測量絕對分子量、慣性半徑和第二維里系數。
日本OTSUKA大塚西南代理分光晶圓厚度計SF-3 在晶圓等的研磨拋光過程中,非接觸式地對晶圓和樹脂的厚度進行超高速、高精度的測量。
日本OTSUKA大塚西南代理分光干涉式厚度計對晶圓等的研磨拋光過程進行非接觸式超高速實時高精度測量。
日本OTSUKA大塚西南代理分光橢偏儀FE-5000除了能夠進行高精度薄膜解析的分光橢偏測量,通過實現測量角度的自動可變機構,本設備可以應對各種類型的薄膜。除了傳統的旋轉檢測光子法,通過設置位相差板的自動裝卸機構,提高了測量精度。