日本大塚電子（OTSUKA ELECTRONICS）OPTM系列顯微分光膜厚計(jì)，是一款可?替代橢偏儀?的高性價比無損膜厚檢測利器，基于?顯微光譜干涉+絕對反射率分析法?，實(shí)現(xiàn)非接觸、非破壞式測量，廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、FPD顯示、光學(xué)鍍膜等制造領(lǐng)域。

?核心技術(shù)與性能?：寬光譜光源經(jīng)反射式顯微物鏡照射樣品，采集薄膜表面與膜/基底界面的光干涉反射光譜，通過FFT/非線性擬合算法解析干涉波形，換算膜厚與光學(xué)常數(shù)（折射率n、消光系數(shù)k）。單點(diǎn)對焦加量測?≤1秒完成?，SiO?重復(fù)精度?<0.2nm?，最高可同時解析?50層多層復(fù)合薄膜?，最小光斑僅?φ3μm?，可對晶圓微小焊盤、鈍化膜等微區(qū)精準(zhǔn)定位測量。反射式物鏡，物理消除透明基板（玻璃/石英）背面反射干擾，即使基板內(nèi)部反射嚴(yán)重也能獲取真實(shí)膜厚值。

?三大機(jī)型×三檔波長，靈活選配?：

其中?OPTM-A?為自動XY平臺型（200×200mm，支持12寸晶圓Mapping掃描，重約66kg）；?OPTM-F?為固定臺架型（研發(fā)檢測，38kg）；?OPTM-H?為分體探頭型（僅4kg，可自由嵌入產(chǎn)線inline在線檢測）。軟件內(nèi)置初學(xué)者解析向?qū)c宏編程功能，無需專業(yè)光學(xué)知識即可快速上手。

?應(yīng)用領(lǐng)域?：半導(dǎo)體（Si/SiC/GaAs晶圓絕緣膜、光刻膠）、FPD（LCD彩色濾光片、OLED有機(jī)膜/封裝膠）、光學(xué)鍍膜（AR增透膜、DLC類金剛石膜）、功能高分子（HC硬涂層、防指紋膜、偏光膜）等。